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显微镜检测晶圆搬送机AL120
产品名称：显微镜检测晶圆搬送机AL120
产品规格：
产品单位：
产品详情
1、 显微镜检测晶圆搬送机AL120
AL120晶圆搬送机可对应200mm以下晶圆尺寸的硅、化合物晶圆，可以安全高效搬送薄片晶圆，非常适合于前道到后道工程的晶圆检查。
显微镜检测晶圆搬送机AL120概述：
★适应范围广、搭配灵活
●对应多种尺寸组合
我们推出了200 mm专用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型（对应小于150 mm的晶圆）的3种型号。除此以外，您还可以根据检查模式，选用微观检查专用型号"L型"或微观•宏观检查兼用型号"LMB型"。
●薄片检查
对应薄片制造厂家的需求，AL120-LMB-90搭载的新型搬送手臂的设计可以搬运整盒25枚90 μm的J*薄晶圆。
★高度实用性
●进一步优化的宏观检查
▪宏观检查手臂可以360゜旋转，更为容易发现伤痕和微尘。
▪利用360゜旋转功能，完全可以目视检查整个晶圆（包括边缘）。此外，在表面宏观检查中，使用操纵杆可随意将晶圆z*大倾斜30゜进行观察。
●操作便捷
▪为了满足各种常规检查的要求，AL120可以登记多达10个检查程序。使用这一功能可以记录特定的卡盒、晶圆和传输速度。快速菜单选择按钮则可以让操作员立刻切换不同程序。
▪晶圆搬送机的菜单设置和设置参数都会在新型的LCD显示器上显示。 使用RECALL按钮可以显示检查时登记的有缺陷的对应SLOT，便于操作者再次确认。
▪AL120使用非接触光学定位、查找和对齐缺口／平面，可以减少晶圆和设备之间的接触，提高晶圆的清洁度。
★高度可靠性
●优先考虑晶圆和操作者的安全
▪为了能够安全的安装晶圆，采用了在装置正面放置片盒的设计。
▪在安全性和人机工学上通过了SEMI S2/S8检测，同时，在环境保护方面遵守了RoHS指令。
●坚固、耐用的显微镜底座
AL120搭载奥林巴斯MXZYE晶圆检查显微镜系列，通过各种观测方法，包括：明视场、暗视场、微分干涉（DIC）、近IR（近红外线）和DUV（深紫外线），实现了ZY的图像分辨率和清晰度。电动物镜转换器和孔径光阑相互锁定，可以优化各物镜的照明和对比度。如果特别订制，AL120还可以应用到其他型号的显微镜上。
●人机工程学设计的载物台
▪手动快速释放真空载物台可以提高操作员的舒适度和工作效率，标准功能为XY轴控制和晶圆旋转功能。
▪可通过操纵杆或预编程的程序控制电动载物台，进一步将检查过程自动化。只需一键便可驱动载物台返回或离开load/unload位置及原点位置。
显微镜检测晶圆搬送机AL120技术规格：
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晶圆搬送机 AL120 规格 |
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200 mm专用型 |
200 mm/150 mm 兼用型 |
150 mm型 |
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AL120- |
AL120- |
AL120- |
AL120- |
AL120- |
AL120- |
AL120- |
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晶圆尺寸（SEMI规格） |
200mm |
200mm / 150mm |
150mm / |
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晶圆z*小厚度 |
90μm |
180μm |
400μm |
150μm |
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片盒类型* |
SEMI规格：25（26）个slot |
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片盒数 |
1 |
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检查模式 |
全部检查／抽样检查 |
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搬运顺序 |
微观检查（显微镜检查） |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
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表面宏观检查 |
○ |
○ |
○ |
○ |
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背面宏观检查 |
○ |
○ |
○ |
○ |
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二次背面宏观检查 |
○ |
○ |
○ |
○ |
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晶圆定位（每 90o） |
非接触（定位平边／V型槽） |
非接触（定位平边） |
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适配显微镜型号 |
奥林巴斯晶圆检测显微镜 MX61 |
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尺寸（mm） |
主机部分：640 (W) × 620 (D) × 378 (H)，配备显微镜时：1100 (W) × 620 (D) × 378 (H) |
主机部分：570 (W) × 620 (D) × 400 (H)，配备显微镜时：980 (W) × 620 (D) × 400 (H) |
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重量（kg）（仅主机部分） |
44 |
44 |
41 |
44 |
41 |
40 |
37 |
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使用环境（电源／真空） |
AC100 V～120 V、1 A或AC220 V～240 V、0.5 A 50/60 Hz、-67～-80 kPa、20 Liter/min以上 |
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* z*多可登记10种片盒
2、 显微镜检测晶圆搬送机AL120-12
AL120-12晶圆搬送机对应可使用FOUP（装载口）和FOSB，适用于低成本的后期检查。安全且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时（包括薄晶圆和变形晶圆）的效率和安全。
显微镜检测晶圆搬送机AL120概述：
★人机工程学设计，操作方便
●可以自由设置的检查模式，在设计上考虑了后道工程中的操作性，尤为重视设备的操作简便性。
●分别对应FOUP(Load Port）和FOSB的两种机型。
★坚固、可靠和安全传送
●延续了上一代机型的坚固性、可靠性和安全性，能够安全可靠的传送300 mm晶圆。
●薄片，Warped晶圆皆能安全搬送。
●宏观观察位置的z*优化和操作单元的集中排列，提高了设备的操作舒适性。
显微镜检测晶圆搬送机AL120技术规格：
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自动300 mm晶圆搬送机 AL120-12 规格 |
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AL120-LMB12-LP3 |
AL120-LMB12-F |
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晶圆尺寸 |
300 mm（SEMI M1.15 t＝775 μm）可选：200 mm |
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卡盒 |
●FOUP（Front Opening
Unified Pods）前开门标准夹 |
●FOSB（Front Opening
Shipping Box）前开门搬运盒 |
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卡盒数 |
单盒（装载、卸载兼用） |
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卡盒设置高度 |
900 mm |
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装载端口 |
有 |
无 |
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搬运顺序 |
表面宏、内面宏、显微镜检查 |
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检查模式 |
全部检查、抽样检查 |
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晶圆校准 |
非接触式中心环 |
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晶圆搬运方式 |
真空吸附机械搬运 |
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适用显微镜 |
晶圆检测显微镜MX61L |
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应用环境 |
AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz |
AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz |
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载物台 |
XY手动吸附载物台，有XY粗调／微调和360度旋转机构 |
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重量（不包括显微镜） |
约360 kg |
约270 kg |