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日本电子场发射透射电子显微镜JEM-3200FS
产品名称：日本电子场发射透射电子显微镜JEM-3200FS
产品规格：
产品单位：
产品详情
仪器简介：
日本电子场发射透射电子显微镜JEM-3200FS配备了z高加速电压为300kV的场发射电子枪（FEG）和镜筒内置式Ω型能量过滤器，能为广泛的研究领域提供多种新的解决方案。
产品特点：
▲镜筒内置式Ω型能量过滤器(omega 过滤器)
镜筒内置式Ω型能量过滤器内置于成像透镜系统，能容易地获得能量过滤像和能量损失谱，同时还能获得与传统电子显微镜同等的放大倍率范围。此外、Ω型过滤器的电子光学系统在设计上更大程度地减少了图像畸变，出厂前还将剩余一点的畸变做了修正。JEM-3200FS还采用了高灵敏度的相机系统及图像处理系统（选配件），可以构建元素面分布系统及能量损失谱系统。
▲新型控制系统
电子枪、电子光学系统、测角台、抽真空系统等电子显微镜基本功能的系统化，实现了高稳定、高性能的控制系统。图像画面和用户界面采用Windows ®*1，可以进行编程操作和附件的集中控制。
▲新型测角台
系统化的新型测角台内置压电陶瓷驱动机构，使高倍率下的样品移动更加精确。*2.
*1 : 注意事项：Windows是微软公司在美国和其他国家的注册商标。
*2 : 仅有压电元件包括在基本单元中，压电元件的电源为选配件。
产品规格：
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物镜极靴*1 |
超高分辨UHR |
高分辨率HR |
高倾斜HT |
高衬度HC |
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分辨率 |
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点分辨率 |
0.17nm |
0.19nm |
0.21nm |
0.26nm |
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能量分辨率 |
0.9 eV（零损失FWHM） |
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加速电压 |
300kV，200kV,100kV*2 |
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最小步长 |
100V |
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电子枪 |
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发射体 |
ZrO/W(100) 肖特基式 |
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亮度 |
≧7×108 A/cm2 ・ sr |
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真空度 |
3×10-8Pa |
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探针电流 |
探针直径为1nm时，电流在0.5nA以上 |
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稳定度 |
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加速电压 |
2×10-6/min |
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物镜电流 |
1×10-6/min |
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过滤器透镜电流 |
1×10-6/min |
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物镜 |
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焦距 |
2.7 mm |
3.0 mm |
3.5 mm |
3.9 mm |
|
球差系数 |
0.6 mm |
1.1 mm |
1.4 mm |
3.2 mm |
|
色差系数 |
1.5 mm |
1.8 mm |
2.2 mm |
3.0 mm |
|
最小焦距步长 |
1.0 nm |
1.4 nm |
1.5 nm |
4.1 nm |
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束斑尺寸 |
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TEM 模式 |
2 ～ 5 nmφ |
2 ～ 5 nmφ |
7 ～ 30 nmφ |
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|
EDS 模式 |
0.4 ～ 1.6 nmφ |
0.5 ～ 2.4 nmφ |
4 ～ 20 nmφ |
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|
NBD 模式 |
0.4 ～ 1.6 nmφ |
0.5 ～ 2.4 nmφ |
- |
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|
CBD 模式 |
0.4 ～ 1.6 nmφ |
0.5 ～ 2.4 nmφ |
- |
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|
电子束衍射 |
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|
衍射角(2α) |
1.5 t～ 20 mrad |
- |
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取出角 |
±10 ° |
- |
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|
倍率 |
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|
MAG 模式 |
×2,500 ～ 1,500,000 |
×2,000 ～ 1,200,000 |
×1,500 ～ 1,200,000 |
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|
LOW MAG 模式 |
×100 ～ 3,000 |
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|
SA MAG 模式 |
×8,000 ～ 600,000 |
×6,000 ～ 500,000 |
×5,000 ～ 500,000 |
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|
视野 |
10eV时狭缝宽度60mm(底片上) |
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相机长度 |
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选区电子衍射 |
200 ～ 2,000 mm |
250 ～ 2,500 mm |
400 ～ 3,000 mm |
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EELS 散射 |
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能量选择 |
0.85 μm/eV , 300 kV |
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底片上 |
100 ～ 220 μm/eV , 300kV |
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样品室 |
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样品移动范围 (XY/Z) |
2mm/0.2mm |
2mm/0.4mm |
2mm/0.4mm |
2mm/0.4mm |
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样品倾斜角 (X/Y) |
±25°/±25°*3 |
±35°/±30°*3 |
±42°/±30°*3 |
±38°/±30°*3 |
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EDS*4 |
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固体角 |
0.13 sr |
0.09 sr |
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取出角 |
25° |
20° |
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