产品规格:进口
产品单位:台
日立超大样品仓钨灯丝扫描电镜S-3700N
产品介绍:
特大型的样品室,还可同时安装EDX/WDX/EBSD等配件。其可载样品高度可达110 mm。5轴马达驱动优中心倾斜、旋转、图像导航系统、样品台追踪、轨迹存储与中心复位等样品台的马达控制功能一应俱全。研究超大,超重,超高样品的分析型扫描电镜,适合于大体积样品的观察和分析。
主要特点:
研究较大,较重,较高样品的分析型扫描电镜
● 最大可载样品直径达300mm
● 最大观察区域直径达203mm
● 在观察110mm高样品时可进行能谱分析
● 样品室设置多种接口,可安装EDS、WDS、EBSD和CL等多种分析用附件
● 5轴优中心马达台可以倾斜--20°~+90°
● 采用节能,清洁的涡轮分子泵
应用领域:
文物考古
钢铁制造
汽车
电子半导体
冶金
技术参数:
分辨率 |
SE 3.0nm,30KV(高真空模式) |
放大倍率 |
x5~x300,000 |
加速电压 |
0.3~30KV |
低真空范围 |
6~270Pa |
图像电位移 |
±50μm (工作距离 10mm) |
最大装载样品 |
直径300mm |
样品台
X |
150mm |
Y |
110mm |
Z |
5~65mm |
R |
360° |
T |
-20°~90° |
观测区域 |
203mm直径 |
样品最大高 |
110mm(工作距离10mm) |
样品台类型 |
优中心马达台 |
电子光学系统
灯丝 |
预对中灯丝 |
物镜光阑 |
4孔活动光阑4孔活动光阑 |
枪偏压 |
固定比例偏压、手动偏压和自动4偏压 |
探测器 |
二次电子探头 |
分析位置 |
工作距离10mm,取出角35° |
显示控制系统
控制模式 |
键盘鼠标、操纵杆、旋钮板 |
显示器 |
液晶显示器 |
辅助功能 |
3D动画演示功能 |
存储图像精度 |
640 x 480 , 1280 x 960 |
图片格式 |
BMP, TIFF, JPEG |
图像显示模式 |
全屏模式:1280 x 960 |
真空系统
控制模式 |
全自动 |
分子 |
210升/秒,一台 |
机械泵 |
135升/分,一台 |
保护措施 |
断电保护、漏气保护 |