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日立新型冷场发射扫描电镜Regulus8200系列

产品名称:日立新型冷场发射扫描电镜Regulus8200系列

产品规格:进口

产品单位:台

产品详情

日立新型冷场发射扫描电镜Regulus8200系列

产品介绍:

Regulus8200系列(Regulus8220Regulus8230Regulus8240)是集高分辨观察和大束流分析与一体的高D扫描电镜。Regulus8200冷场扫描电镜不仅完全秉承以往冷场发射扫描电镜的优点,还大幅提高了探针电流,并增强了电流的稳定性。日立电子显微镜Regulus8200d可实现自动flash,无需等待,这些优点使得在低加速电压下,可长时间连续实现高分辨观察和分析功能。

主要特点

1. 创X型冷场电子枪,束流更大更稳定,高分辨观察和分析兼顾

2. 大幅度提高的分辨率0.9nm@1kV0.7nm@15kV)

3. 超高真空发射枪和样品室,将样品污染降至更低

4. 选配顶端过滤器,可实现良好的成分对比度

5. 优良的扩展功能,可附加多种功能附件。

应用领域:

1、纳米材料;

2、半导体器件;

3、高分子材料;

4、生物医学;

5、新能源;

主要参数:

名称

Regulus8100

Regulus8240/8230/8220

二次电子分辨率

0.8 nm(加速电压 15 kV
1.1 nm
(着陆电压 1 kV*2

0.7 nm(加速电压 15 kV
0.9 nm
(着陆电压 1 kV*2

加速电压

0.5~30 kV

0.5~30 kV

着陆电压*2

0.1~2 kV

0.01~20 kV

倍率

20~1,000,000*3

20~2,000,000*3

马达台控制

3轴自动*4

5轴自动

*1 . 仅限 Regulus8240/8230/8220

*2 . 减速模式观察

*3. 127 mm × 95 mm 视野的画面倍率

*4 .5轴马达台为选配项