产品规格:进口
产品单位:台
日立新型冷场发射扫描电镜Regulus8200系列
产品介绍:
Regulus8200系列(Regulus8220、Regulus8230、Regulus8240)是集高分辨观察和大束流分析与一体的高D扫描电镜。Regulus8200冷场扫描电镜不仅完全秉承以往冷场发射扫描电镜的优点,还大幅提高了探针电流,并增强了电流的稳定性。日立电子显微镜Regulus8200d可实现自动flash,无需等待,这些优点使得在低加速电压下,可长时间连续实现高分辨观察和分析功能。
主要特点:
1. 创X型冷场电子枪,束流更大更稳定,高分辨观察和分析兼顾
2. 大幅度提高的分辨率0.9nm@1kV、0.7nm@15kV);
3. 超高真空发射枪和样品室,将样品污染降至更低
4. 选配顶端过滤器,可实现良好的成分对比度
5. 优良的扩展功能,可附加多种功能附件。
应用领域:
1、纳米材料;
2、半导体器件;
3、高分子材料;
4、生物医学;
5、新能源;
主要参数:
名称 |
Regulus8100 |
Regulus8240/8230/8220 |
二次电子分辨率 |
0.8 nm(加速电压 15 kV) |
0.7 nm(加速电压 15 kV) |
加速电压 |
0.5~30 kV |
0.5~30 kV |
着陆电压*2 |
0.1~2 kV |
0.01~20 kV |
倍率 |
20~1,000,000倍*3 |
20~2,000,000倍*3 |
马达台控制 |
3轴自动*4 |
5轴自动 |
*1 . 仅限 Regulus8240/8230/8220
*2 . 减速模式观察
*3. 127 mm × 95 mm 视野的画面倍率
*4 .5轴马达台为选配项