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日立高分辨冷场发射扫描电镜SU9000
产品名称：日立高分辨冷场发射扫描电镜SU9000
产品规格：进口
产品单位：台
产品详情
日立高分辨冷场发射扫描电镜SU9000
产品介绍：
SU9000是二次电子分辨率（0.4nm@30kV）和STEM分辨率（0.34nm@30kV）的扫描电镜。它采取了独特的真空系统和电子光学系统，不仅分辨率性能优，而且作为冷场发射扫描电镜甚至不需要传统意义上的Flashing操作，可以快速稳定的进行超高分辨成像。
产品特点：
●新的电子枪和电子光学设计提高了低加速电压性能。
0.4 nm / 30 kV (SE) 1.2 nm / 1 kV (SE) 0.34 nm / 30 kV (STEM)
●用改良的高真空性能和电子束稳定性来实现高效率截面观察。
●采用新设计的Super E x B能量过滤技术，高效，灵活地收集SE / BSE/ STEM信号。
●主要特点：
1.新型电子光学系统设计达到扫描电镜分辨率：二次电子0.4nm（30KV），TEM0.34nm（30KV）。
2.用改良的高真空性能和无与伦比的电子束稳定性来实现高效率截面观察。
3.采用新设计的Super E x B能量过滤技术，高效，灵活地收集SE / BSE/ STEM信号。
应用领域：
1.半导体器件
2.高分子材料
3.纳米材料
4.生命科学
技术规格：
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项目 |
技术指标 |
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二次电子分辨率 |
0.4nm （加速电压30kV，放大倍率80万倍） |
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1.2nm （加速电压1kV，放大倍率25万倍） |
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STEM分辨率 |
0.34nm（加速电压30kV，晶格象） |
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观测倍率 |
底片输出 |
显示器输出 |
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LM模式 |
80~10,000x |
220~25,000x |
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HM模式 |
800~3,000,000x |
2,200~8,000,000x |
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样品台 |
侧插式样品杆 |
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样品移动行程 |
X |
±4.0mm |
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Y |
±2.0mm |
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Z |
±0.3mm |
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T |
±40度 |
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标准样品台 |
平面样品台：5.0mm×9.5mm×3.5mmH |
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截面样品台：2.0mm×6.0mm×5.0mmH |
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专用样品台 |
截面样品台：2.0mm×12.0mm×6.0mmH |
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双倾截面样品台：0.8mm×8.5mm×3.5mmH |
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信号检测器 |
二次电子探测器 |
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TOP 探测器（选配） |
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BF/DF 双STEM探测器（选配） |
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