日本日立高分辨冷场发射扫描电镜Regulus8100

产品介绍：

Regulus8100是日本日立冷场发射扫描电镜的全新系列，Regulus8100保留了SU8010易维护、易操作等优点，进一步提高性能，1kV减速模式下z高分辨率达到了1.1nm，15kV达到0.8nm，高低电压均可满足高分辨的观察。

主要特点：

1. 配备加速电压减速功能，优良的低加速电压成像能力，1kV分辨率可达1.1nm

2. 日本日立专利E×B技术，无需喷镀，可直接观测不导电样品

3. 配备电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能

4. SE与BSE任意比例搭配功能

应用领域：

1、 纳米材料；

2、 半导体器件；

3、 高分子材料；

4、 生物医学；

5、 新能源。

主要参数

*1 仅限 Regulus8240/8230/8220

*2 减速模式观察

*3 127 mm × 95 mm 视野的画面倍率

*4  5轴马达台为选配项