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离子显微镜
产品名称：离子显微镜
产品规格：进口
产品单位：台
产品详情
离子显微镜
场离子显微镜(FIM)：场离子显微镜是z早达到原子分辨率，也就是z早能看得到原子尺度的显微镜。与通常的高分辨率电子显微镜不同，场离子显微镜成像时不使用磁或静电透镜，是由所谓成像气体的“场电离”过程来完成的。只是要用FIM看像，样品得先处理成针状，针的末端曲率半径约在2001000埃。工作时首先将容器抽到1.33×10-6Pa的真空度，然后通入压力约1.33×10-1Pa的成像气体例如惰性气体氦。在样品加上足够高的电压时，气体原子发生极化和电离，荧光屏上即可显示尖端表层原子的清晰图像，图象中每一个亮点都是单个原子的像。聚焦离子束（FIB）: FIB（聚焦离子束，Focused Ion beam)是将液态金属(大多数FIB都用Ga)离子源产生的离子束经过离子枪加速,聚焦后照射于样品表面产生二次电子信号取得电子像.此功能与SEM（扫描电子显微镜）相似,或用强电流离子束对表面原子进行剥离,以完成微、纳米级表面形貌加工.通常是以物理溅射的方式搭配化学气体反应，有选择性的剥除金属,氧化硅层或沉积金属层。
虽然传统的基于Ga离子液态金属离子源（LMIS）的聚焦离子束（FIB）已经获得了广泛的应用，但是随着研究尺度的不断缩小，传统的FIB已经达到了其加工精度的j限。另一方面，金属离子源在成像与加工过程中所产生的样品污染和掺杂问题使人们迫切的需要找到一种新的替代离子源。于是基于惰性气体的气态场离子源（GFIS）应运而生，它具有高亮度，高分辨能力，同时对样品无污染的优点，从而获得了人们的广泛兴趣。GFIS的基础是基于1950年Muller开发的场离子显微镜。然而，当将这项技术商品化时人们遇到了挑战，即如何获得一个具有足够长寿命的可重复使用的GFIS。随后，Bill Ward解决了这个难题，并成功研制出了可商品化的原子级尺度的离子源，并在此基础上研制出了世界上d一台基于GFIS的扫描氦离子显微镜（HIM）Orion。在2006年7月，显微镜行业的巨头蔡司公司收购了拥有Orion的ALIS公司。在此之后的十年里，蔡司公司利用其雄厚的技术和研发实力，持续开发并改进了HIM的离子源和显微镜技术，发展了丰富的应用领域，不断将该技术发扬光大。
蔡司离子显微镜可根据需要对材料进行亚纳米级到微米的精q加工和高分辨成像。利用其配置的氦、氖、镓三离子束和气体注入系统对样品材料按照需求进行高精度、高效、大范围的切割或沉积，并进行原位高分辨成像。