产品规格:国产(场发射)
产品单位:台
国产场发射扫描电镜EM8100F
国产场发射扫描电镜EM8100F特点:
EM8100F国产场发射扫描电子显微镜
Ø 国产热场发射扫描电镜较新产品
Ø Schottky肖特基场发射电子枪亮度高、单色性好、电子束斑小,寿命长
Ø 低电压模式下能保持较好的亮度和较高的分辨率
Ø 束流稳定度高、色散小,适宜于长时间的各种精确分析,如BSE、EDS、EBSD
Ø 低加速电压不导电样品可以直接观测,无需喷金
Ø 操作简便,仅用鼠标即可完成所有的电镜操作
国产场发射扫描电镜EM8100F参数:
项目 |
EM8100F性能参数 |
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分辨率 |
SE:1 nm(15KV); 3nm(1KV);BSE:2.5nm(20Kv) |
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放大倍数 |
15x~800,000x |
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加速电压 |
0 ~ 30Kv |
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电子枪 |
Schottky肖特基场发射电子枪 |
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自动调整功能 |
聚焦、亮度/对比度、消像散、电子束对中等 |
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真空系统 |
高真空二次电子,四分割背散射探测器(具备保护探测器探头不被碰撞的功能) |
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行程(可选配5轴全自动样品台) |
X |
0 ~ 80mm(自动) |
Y |
0 ~ 60mm(自动) |
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Z |
0 ~ 50mm |
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R |
360° |
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T |
-5° ~ 90° |
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探测器 |
SE探测器,BSE探测器,X-ray能谱仪(可选),EBSD(可选) |