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奥林巴斯工业显微镜之扫描探针显微镜

产品名称:奥林巴斯工业显微镜之扫描探针显微镜

产品规格:日本原装进口

产品单位:台

产品详情

奥林巴斯工业显微镜之扫描探针显微镜

工业显微镜集成了很多复杂的设计,目的是提高分辨率和样品对比度。奥林巴斯工业显微镜卓越的光学性能和拥有众多配件的各类机型,可以满足从日常检查到复杂分析的各种应用。数码照相装置和软件的组合为图像采集、测量、报告以及晶粒分析、颗粒分析和其他材料解决方案提供了简便的流程式分析和灵活的解决方案。奥林巴斯通过高精度测量系统也提供电子器件和加工零件的非接触式几何测量。

奥林巴斯工业显微镜之扫描探针显微镜

具有卓Y的传统光学显微镜技术的激光共聚焦显微镜(LSM)和具有纳米级测量能力的扫描探针显微镜,两者的集成就是奥林巴斯LEXT OLS4500型显微镜,它适用的样品测量范围更宽,提供了新的显微观察和测量解决方案。

扫描探针显微镜OLS4500

LEXT OLS4500是一款集成了激光显微镜和探针扫描显微镜功能于一体的新型纳米检测显微镜,可以实现从50倍到最高100万倍的超大范围的观察和测量。

奥林巴斯扫描探针显微镜OLS4500特点:

1OLS4500为您带来新的解决方案

1)实现纳米级观测的新型显微镜。不会丢失锁定的目标。

配有涵盖了低倍观察到高倍观察的4种物镜,并在电动物镜转换器上装配了SPM单元。可以无缝切换倍率和观察方法,不会丢失观察对象。此外,该款显微镜可以进行纳米级观测。

2)涵盖了低倍到高倍观察,并配有多种观察方法可以迅速发现观察对象。

3)缩短从放置样品到获取影像的工作时间。

4)一体机的机型,所以无需重新放置样品只要在1台装置上切换倍率、观察方法就能够灵活应对新样品。

2OLS4500实现了无缝观察和测量

1)【发现】可以迅速发现观察对象

2)【接近】迅速发现观察对象,在SPM上正确完成观察

3)【纳米级测量】简单操作,可以迅速获得测量结果

3、跟从向导画面的指示, 可轻松操作的6SPM测量模式

接触模式、动态模式、相位模式、电流模式、表面电位模式(KFM)、磁力模式(MFM

4、装配了激光扫描显微镜,灵活应对多种样品

1)轻松检测85°尖锐角

2)高度分辨率10 nm,轻松测量微小轮廓

3)从大范围拼接影像中指定目标区域

5、可用于传统的线粗糙度测量,也可用于信息量较多的面粗糙度测量

越来越重要的表面粗糙度测量

在面粗糙度测量中详细掌握粗糙度的分布和特点

OLS4500的粗糙度参数

参数兼容性

OLS4500具有与接触式表面粗糙度测量仪相同的表面轮廓参数,因此具有相互兼容的操作性和测量结果。

截面曲线Pp, Pv, Pz, Pc, Pt, Pa, Pq, Psk, Pku, Psm, PΔq, Pmr(c), Pδc, Pmr

粗糙度曲线Rp, Rv, Rz, Rc, Rt, Ra, Rq, Rsk, Rku, Rsm, RΔq, Rmr(c),Rδc, Rmr, RZJIS, Ra75

波动曲线Wp, Wv, Wz, Wc, Wt, Wa, Wq, Wsk, Wku, Wsm, WΔq, Wmr(c), Wδc, Wmr

负荷曲线Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2

基本图形R, Rx, AR, W, Wx, AW, Wte

粗糙度 (JIS1994)Ra(JIS1994), Ry, Rz(JIS1994), Sm, S, tp

其他R3z, P3z, PeakCount

适应下一代参数

OLS4500具有符合ISO25178的粗糙度(3D)参数。通过评估平面区域,可以进行高可靠性的分析。

振幅参数Sq, Ssk, Sku, Sp, Sv, Sz, Sa

功能参数Smr(c), Sdc(mr), Sk, Spk, Svk, SMr1, SMr2, Sxp

体积参数Vv(p), Vvv, Vvc, Vm(p), Vmp, Vmc

横向参数Sal, Str

6OLS4500的显微镜技术

1)光学显微镜的原理和特长

光学显微镜是从样品上方照射可见光(波长约400 nm800 nm), 利用其反射光成像, 能够放大样品数十倍到一千倍左右进行观察。光学显微镜的特长是可以真实观察彩色样品, 还可以切换观察方法, 强调样品表面的凹凸, 利用物质的特性(偏光性)进行观察。OLS4500上可以使用下述观察方法。

明视场观察

最基本的观察方法,通过样品的反射光成像进行观察

微分干涉观察

给样品表面的微小凹凸添加明暗对比,使之变为可视的立体影像

简易偏振光观察

照射偏振光(有着特定振动方向的光线),把样品的偏光性变为可视影像

2)激光显微镜的原理和特长

可进行亚微米级观察和测量的激光显微镜(LSM:Laser Scanning Microscope)

光学显微镜的平面分辨率很大程度上取决于所用光的光子和波长,采用短波长的激光扫描显微镜(LSM)比采用可见光的传统显微镜,拥

有更高的平面分辨率。

LEXT OLS4500采用405 nm的短波长半导体激光、高数值孔径的专用物镜、以及独特的共焦光学系统,可以达到0.12 μm的平面分辨率。此外,OLS4500配有奥林巴斯独有的扫描加扫描型2D扫描仪,可以实现高达4096×4096像素的高精度XY扫描。

卓越的Z轴测量

激光显微镜采用短波长半导体激光和独有的双共焦光学系统, 会删除未聚焦区域的信号, 只将聚焦范围内的反射光检测为同一高度。同时结合高精度的光栅读取能力, 可以生成高画质的影像, 实现精Q的3D测量。

3)探针显微镜的原理和特长

可以观察纳米级微观世界的探针显微镜(SPM:Scanning Probe Microscope)

探针显微镜(SPM)是通过机械式地用探针在样品表面移动,检测出探针与样品之间产生的力、电的相互作用,同时进行扫描,从而得到样品影像。探针尖端曲率半径为10 nm左右。典型的探针显微镜是原子力显微镜(AFM),它通过检测探针和样品表面之间作用的引力和张力进行扫描并获得影像。探针显微镜能够观察纳米级微观形貌,可以捕捉到样品最精细的一面。

通过微悬臂扫描进行纳米观察

OLS4500上采用了光杠杆法——通过高灵敏度检测出最前端装有探针的微悬臂的微小弯曲量(位移)来进行观测的方法。在悬臂的背面反射激光,并用压电元件驱动Z轴,使激光照射到光电检测器的指定位置,从而正确读取Z方向的微小位移。

多种观察模式在影像中呈现表面形状和物性

探针显微镜拥有多种观察模式,可以观察、测量样品表面的形状,还可以进行物性分析。OLS4500配有以下模式。

接触模式: 在影像中呈现表面形状(较硬的表面)

动态模式: 在影像中呈现表面形状(较软的表面、有粘性的表面)

相位模式: 在影像中呈现样品表面的物性差

电流模式*: 检测出探针和样品之间的电流并输出影像

表面电位模式(KFM*: 在影像中呈现样品表面的电位

磁力模式(MFM*: 在影像中呈现样品表面的磁性信息

* 该模式为选项功能。

决定高精细度、高质量影像的微悬臂

探针位于长度约100μm200μm的薄片状微悬臂的前端。您可以根据样品选择不同的弹簧常数、共振频率。反复扫描会磨损探针, 所以请根据需要定期更换微悬臂探针。

奥林巴斯工业显微镜之扫描探针显微镜

主机 规格

LSM部分

光源、检出系统

光源:405 nm半导体激光、检出系统:光电倍增管

总倍率

10817,280X

变焦

光学变焦:18X

测量

平面测量

重复性

100x : 3σn-1=0.02μm50x3σn-1=0.04μm20x3σn-1=0.1μm

正确性

测量值的±2%以内

高度测量

方式

物镜转换器上下驱动方式

行程

10mm

内置比例尺

0.8nm

移动分辨率

10nm

显示分辨率

1nm

重复性

100x :σn-1= 0.012μm50xσn-10.012μm20xσn-10.04μm

正确性

0.2+L/100 μm以下(L=测量长度)

彩色观察部分

光源、检出系统

光源:白色LED、检出系统:1/1.8英寸200万像素单片CCD

变焦

码变焦:18X

物镜转换器

6孔电动物镜转换器

微分干涉单元

微分干涉滑片:U-DICR、内置偏振光片单元

物镜

明视场平面半消色差透镜5X LEXT专用平面复消色差透镜20X50X100X

Z对焦部分行程

76 mm

XY载物台

100 x 100 mm(电动载物台)

SPM部分

运行模式

接触模式、动态模式、相位模式、电流模式*、表面电位模式(KFM*、磁力模式(MFM*

位移检出系统

光杠杆法

光源

659 nm半导体激光

检出设备

光电检测器

最大扫描范围

X-Y:最大 30 μm x 30 μmZ:最大 4.6 μm

安装微悬臂

在盒式微悬臂支架上一键安装。使用微悬臂安装位置调整专用工装夹具预对位,更换支架时无需光学调整。

系统

总重量

440 kg(不包含电脑桌)

I额定输入

100120 V/220240 V600 VA50/60 Hz

*该功能为选项功能。

物镜 规格

型号

倍率

视场

工作距离(W.D.

数值孔径(N.A.

MPLFLN5X

108-864X

2,560-320μm

20.0mm

0.15

MPLAPON20XLEXT

432-3,456X

640-80μm

1.0mm

0.60

MPLAPON50XLEXT

1,080-8,640X

256-32μm

0.35mm

0.95

MPLAPON100XLEXT

2,160-17,280X

128-16μm

0.35mm

0.95

微悬臂 规格

用途

型号

类型

探针数量

微悬臂

探针

材质

金属膜
涂层

共振频率
(kHz)

弹簧常数
(N/m)

高度
(μm

前端半径
(nm

探针/
微悬臂

探针涂层/
反射涂层

动态模式/
相位模式

OMCL-AC160TS-C3

标准硅胶

24

300

26

14

7

Si / Si

/ Al

OMCL-AC240TS-C3

低弹簧常数硅胶

24

70

2

14

7

Si / Si

无/Al

接触模式

OMCL-TR800PSA-1

标准氮化硅

34

73 / 24

0.57 / 0.15

2.9

15

SiN / SiN

无/Au

表面电位模式

OMCL-AC240TM-B3

电气测量专用硅胶

18

70

2

14

15

Si / Si

Pt/Al

微悬臂、探针的机械特性及尺寸均为代表值。
微悬臂非常小,请注意不要伤到眼睛或不小心吞咽。
电流模式、磁力模式中使用的微悬臂的详细信息,请咨询经销商。
除上表以外,还有其他规格的微悬臂。详情请咨询经销商上海铸金分析仪器有限公司。