产品规格:Nova NanoSEM50
产品单位:台
美国FEI进口NanoSEM50系列扫描电子显微镜(扫描电镜/SEM)
Nova™ NanoSEM 扫描电子显微镜
适合多种应用的纳米级研究工具
Nova NanoSEM50系列可帮助取得更大成就。 NanoSEM50系列还引入了z低速度的高灵敏可伸缩SE/ BSE和干探测器和多功能的SE/ BSE过滤功能,使感兴趣的信息z低速度更佳化。智能扫描模式可用于尽可能避免成像假象。
美国FEI进口NanoSEM50系列扫描电子显微镜(扫描电镜/SEM)主要优点
• 场发射 SEM、稳定高电流 Schottky 电子枪
• 先J的光学和探测技术,包括沉浸模式、射束减速、透镜内 TLD-SE 和 TLD–BSE、DBS 和 STEM,可实现更佳信息选择和图像优化
• 低至 50 V 的射束着陆能量
• 1.4 nm @ 1 kV、无射束减速
• 真正高分辨率的低真空 FESEM: 1.8 nm @ 3 kV 和 30 Pa
• 高达 200 nA 的高真空或低真空分析
• 整合式 16 位扫描/制图引擎
• 洁净、无油滚动和涡轮抽气真空系统
• 150 x 150 mm 高精密、高稳定压电样品台 (Nova NanoSEM 650)
美国FEI进口NanoSEM50系列扫描电子显微镜(扫描电镜/SEM)规格
Nova NanoSEM 50 系列 |
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分辨率 高真空 |
15 kV (TLD) |
1.0 nm |
分辨率 低真空 |
3 kV 和 30 Pa (Helix) |
1.8 nm |
射束电流 |
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高达 200 nA |
着陆电压范围 |
50 V - 30 kV |
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样品台 |
X x Y x Z (mm) |
110 x 110 x 25 |
机室 |
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大试件室 |
探测 |
透镜内 |
TLD SE 和 BSE |